光学グレード水晶単結晶ウェハ
OST Photonicsは光学グレードの水晶単結晶ウェーハを各種サイズ・厚さで提供しており、ウェーハ直径は1インチから4インチまで対応しています...
光学グレード水晶単結晶ウェハ
OST Photonicsは、光学グレードの水晶単結晶ウェーハをさまざまな寸法・厚さでご提供しており、ウェーハ径は1インチから4インチまで、厚さはご要望に応じてカスタマイズ可能です（通常0.05 mm以上）。方位はX/Y/Zカットなどに対応します。さらに、高品質な水晶ブランク（左水晶を含む）もご用意しています。
- 製造元OST Photonics
- カテゴリー結晶ウェハおよび基板
- 納期ご注文ごとに提示
- カスタマイズ図面に基づくサイズ、結晶方位、表面仕上げ
光学グレード水晶単結晶ウエハの仕様
| 材料 | 石英結晶 | |
| カット角 | X/Y/Z-cut etc | |
| 直径 | 1”(25.4mm)~4”(100mm) | |
| 直径公差 (±) | ≤0.20 mm | |
| 厚さ | 0.05mm or more | |
| LTV (5mmx5mm) | <1µm | |
| TTV | <3µm | |
| ボウ | -30<bow<30 | |
| 反り(ワープ) | <40µm | |
| 表面タイプ | 片面研磨(SSP)/両面研磨(DSP) | |
| 研磨面 Ra | <0.5nm | |
| 裏面基準 | 通常は 0.2-0.5µm、またはカスタム対応 | |
| Scratch/Dig | 40/20 より優れる | |
| エッジ基準 | SEMI M1.2規格に準拠／IEC62276に準拠 | |
| 材料特性 | ECD | グレード4より良好 |
| インクルージョン | グレード I より優れる | |
| Q値 | グレードCより良好 | |
| ウェーハ表面基準 | 粒子 φ>0.3 µm | <= 30 |
| 傷、欠け | なし | |
| 欠陥 | エッジの欠け、傷、ソーマーク、シミがないこと | |
| 梱包 | 数量/ウェーハボックス | 25pcs per box |
光学グレード水晶単結晶ブランクのパラメータ
| 材料 | グレード | 寸法 | インクルージョン | Q 値 | 光学的均一性 |
| 水晶 | 光学 | Z: 135mmX: 150mmY: 240-280mm | IEC クラスI | >2.40 million | 1*10^-5 |
| 水晶 | レーザー | Z<40mmX<110mmY< 200mm | IEC Claas IA より優れる | >2.40 million | 5*10^-6 |
光学グレード石英単結晶ウェーハの特性
| Density, g/cm3 | 2.65 |
| 融点、°C | 1467 |
| 熱伝導率、W/(m x K) (T = 25°C) | 10.7（Z軸に平行）6.2（Z軸に垂直） |
| 温度範囲 0-25°Ñ における線熱膨張係数、°C^-1 | 7.1 õ 10^-6 (Z軸に平行) |
| 13.2 õ 10^-6（Z軸に垂直） | |
| 硬度 (Mohs) | 7 |
| 比熱容量、J/(kg x K) (T = 25°C) | 710 |
| 30 MHz における誘電率 | 4.34 (Z軸に平行) 4.27 (Z軸に垂直) |
| ヤング率 (E)、GPa | 97.2 (Z軸に平行) 76.5 (Z軸に垂直) |
| せん断弾性率(G)、GPa | 31.14 |
| 体積弾性率 (K), GPa | 36.4 |
| 化学的安定性 | 水に不溶 |
| 弾性係数 | C11=87 C12=7 C44=58 C13=13 C14=18 C33=106 |
合成水晶の屈折率と波長の関係
| l, mm | n0 | ne | l, mm | n0 | ne | l, mm | n0 | ne |
| 0.185 | 1.676 | 1.69 | 0.243 | 1.605 | 1.617 | 0.589 | 1.544 | 1.553 |
| 0.194 | 1.66 | 1.673 | 0.263 | 1.593 | 1.604 | 1.083 | 1.534 | 1.543 |
| 0.204 | 1.643 | 1.656 | 0.291 | 1.581 | 1.591 | 1.8 | 1.524 | 1.532 |
| 0.219 | 1.625 | 1.637 | 0.34 | 1.567 | 1.577 | 2.5 | 1.512 | 1.52 |
| 0.231 | 1.614 | 1.626 | 0.405 | 1.557 | 1.567 | 3 | 1.5 | 1.507 |
合成水晶の品質評価
a) 人工水晶中の結晶欠陥および不純物の量は、成長速度、鉱化剤、原料によって決まります。成長速度は、Q 値と相関する赤外吸収係数 α や周波数温度特性といった重要な特性に大きく影響します。成長速度が大きいほど α は増加し、Q 値は低下し、周波数温度特性にばらつきが生じます。
b) 人工水晶の品質指標は当初 Q 値であり、Q 値を求めるために 5 次オーバートーンモードで動作する 5 MHz 水晶振動子が使用されていました。しかし 5 MHz 水晶振動子の製作には手間がかかるため、指標は Q 値に代わり係数 α に変更されました。
合成水晶の品質評価
a) 双晶: 使用可能領域に電気的双晶および光学的双晶があってはなりません。
b) 歪み: 種結晶の内部および表面、ならびに育成された水晶に歪みがあってはなりません。
c) 割れおよび破損: 使用可能領域に割れ、欠け、破損があってはなりません。
d) インクルージョン密度: 仕様は IEC 60758 に準拠します。
| サイズ範囲 | cm^3 あたりの数量 | |||
| グレード (µm) | 10 to 30 | 30 to 70 | 70 to 100 | >100 |
| Ia | 2 | 1 | 0 | 0 |
| Ib | 3 | 2 | 1 | 1 |
| I | 6 | 4 | 2 | 2 |
| II | 9 | 5 | 4 | 3 |
| III | 12 | 8 | 6 | 4 |
e) 赤外品質表示: 仕様は IEC 60758 に準拠します。
| グレード | Max. α3585 | 推定Q値 (x 10^6) |
| A | 0.015 | 3.8 |
| A | 0.024 | 3 |
| B | 0.05 | 2.4 |
| C | 0.069 | 1.8 |
| D | 0.1 | 1.4 |
f) エッチチャネル密度: 仕様は IEC 60758 に準拠します。
| グレード | cm^3あたりの最大数 |
| 1 | 10 |
| 2 | 30 |
| 3 | 100 |
| 4 | 300 |
| 5 | 600 |
粗切断水晶(lumbered)の仕様
a) 角度:
i. Y 軸まわりの X 面の回転角: 00°00’±15’
ii. Z 軸まわりの X 面の回転角: 00°00’±15’
b) 寸法公差:
i. X 軸または Z 軸方向: ±0.1 mm
ii. Y 軸方向: ±10 mm
c) 表面粗さ: カスタム対応。ラップ仕上げと研磨仕上げのいずれも可能です。
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