Quarz-Einkristallwafer in optischer Qualität
OST Photonics bietet Quarz-Einkristallwafer in optischer Qualität in verschiedenen Größen und Dicken an, mit Waferdurchmessern von 1 Zoll bis 4 Zoll,...
Quarz-Einkristallwafer in optischer Qualität
OST Photonics bietet Quarz-Einkristallwafer in optischer Qualität in verschiedenen Größen und Dicken an, mit Waferdurchmessern von 1 bis 4 Zoll; die Dicke kann nach Ihren Anforderungen gefertigt werden (in der Regel über 0.05 mm). Als Orientierungen sind X/Y/Z-Schnitt usw. möglich. Darüber hinaus sind auch hochwertige Quarzrohlinge (einschließlich linksdrehendem Quarz) erhältlich.
- HerstellerOST Photonics
- KategorieKristallwafer und Substrat
- LieferzeitWird je Auftrag angegeben
- AnpassungGröße, Orientierung und Oberflächengüte nach Zeichnung
Spezifikationen der Quarz-Einkristallwafer in optischer Qualität
| Werkstoff | Quarzkristall | |
| Schnittwinkel | X/Y/Z-cut etc | |
| Durchmesser | 1”(25.4mm)~4”(100mm) | |
| Durchmessertoleranz (±) | ≤0.20 mm | |
| Dicke | 0.05mm or more | |
| LTV (5mmx5mm) | <1µm | |
| TTV | <3µm | |
| Durchbiegung | -30<bow<30 | |
| Verzug | <40µm | |
| Oberflächentyp | Einseitig poliert(SSP)/beidseitig poliert(DSP) | |
| Ra der polierten Seite | <0.5nm | |
| Kriterien der Rückseite | In der Regel 0,2-0,5µm oder kundenspezifisch | |
| Scratch/Dig | Besser als 40/20 | |
| Kantenkriterien | Konform mit SEMI M1.2 / gemäß IEC62276 | |
| Materialeigenschaft | ECD | Besser als Güteklasse 4 |
| Einschluss | Besser als Güteklasse I | |
| Q-Wert | Besser als Güteklasse C | |
| Kriterien der Waferoberfläche | Partikel φ>0.3 µm | <= 30 |
| Kratzer, Ausbrüche | Keine | |
| Defekt | Keine Kantenrisse, Kratzer, Sägespuren oder Flecken | |
| Verpackung | Stück/Waferbox | 25pcs per box |
Parameter von Quarz-Einkristallrohlingen in optischer Qualität
| Werkstoff | Qualität | Abmessung | Einschluss | Q-Wert | Optische Homogenität |
| Quarz | Optisch | Z: 135mmX: 150mmY: 240-280mm | IEC Klasse I | >2.40 million | 1*10^-5 |
| Quarz | Laser | Z<40mmX<110mmY< 200mm | Besser als IEC Claas IA | >2.40 million | 5*10^-6 |
Eigenschaften von Quarz-Einkristallwafern in optischer Qualität
| Density, g/cm3 | 2.65 |
| Schmelzpunkt, °C | 1467 |
| Wärmeleitfähigkeit, W/(m x K) (T = 25°C) | 10.7 (parallel zur Z-Achse) 6.2 (senkrecht zur Z-Achse) |
| Thermischer Koeffizient der linearen Ausdehnung im Temperaturbereich 0-25°Ñ, °C^-1 | 7.1 õ 10^-6 (parallel zur Achse Z) |
| 13.2 õ 10^-6 (senkrecht zur Z-Achse) | |
| Härte (Mohs) | 7 |
| Spezifische Wärmekapazität, J/(kg x K) (T = 25°C) | 710 |
| Dielektrizitätskonstante bei 30 MHz | 4.34 (parallel zur Achse Z) 4.27 (senkrecht zur Achse Z) |
| Elastizitätsmodul (E), GPa | 97.2 (parallel zur Achse Z) 76.5 (senkrecht zur Achse Z) |
| Schubmodul (G), GPa | 31.14 |
| Kompressionsmodul (K), GPa | 36.4 |
| Chemische Stabilität | unlöslich in Wasser |
| Elastische Koeffizienten | C11=87 C12=7 C44=58 C13=13 C14=18 C33=106 |
Brechungsindex von synthetischem Quarzkristall in Abhängigkeit von der Wellenlänge
| l, mm | n0 | ne | l, mm | n0 | ne | l, mm | n0 | ne |
| 0.185 | 1.676 | 1.69 | 0.243 | 1.605 | 1.617 | 0.589 | 1.544 | 1.553 |
| 0.194 | 1.66 | 1.673 | 0.263 | 1.593 | 1.604 | 1.083 | 1.534 | 1.543 |
| 0.204 | 1.643 | 1.656 | 0.291 | 1.581 | 1.591 | 1.8 | 1.524 | 1.532 |
| 0.219 | 1.625 | 1.637 | 0.34 | 1.567 | 1.577 | 2.5 | 1.512 | 1.52 |
| 0.231 | 1.614 | 1.626 | 0.405 | 1.557 | 1.567 | 3 | 1.5 | 1.507 |
Qualitätsbewertung von synthetischem Quarzkristall
a) Die Menge an Kristalldefekten und Verunreinigungen im synthetischen Quarzkristall hängt von der Wachstumsgeschwindigkeit, dem Mineralisator und dem Rohmaterial ab. Die Wachstumsgeschwindigkeit beeinflusst wesentliche Eigenschaften stark, etwa den Infrarot-Absorptionskoeffizienten α, der mit dem Q-Wert korreliert, sowie die Frequenz-Temperatur-Charakteristik. Eine höhere Wachstumsgeschwindigkeit führt zu einem Anstieg von α, einer Verringerung des Q-Werts und zu Streuungen in der Frequenz-Temperatur-Charakteristik.
b) Die Qualitätskennzahl des synthetischen Quarzkristalls war ursprünglich der Q-Wert; zu dessen Bestimmung wurde ein 5-MHz-Quarzresonator im 5. Oberton betrieben. Da die Herstellung des 5-MHz-Resonators jedoch aufwendig war, wurde die Kennzahl vom Q-Wert auf den Koeffizienten α umgestellt.
Qualitätsbewertung von synthetischem Quarzkristall
a) Verzwillingung: Im nutzbaren Bereich darf keine elektrische oder optische Verzwillingung vorliegen.
b) Spannung: Weder im Inneren noch an der Oberfläche des Impfkristalls oder des gezüchteten Quarzkristalls darf Spannung vorhanden sein.
c) Risse und Brüche: Im nutzbaren Bereich dürfen keine Risse, Ausbrüche oder Brüche vorhanden sein.
d) Einschlussdichte: Die Spezifikation entspricht der IEC 60758.
| Größenbereich | Menge pro cm^3 | |||
| Körnung (µm) | 10 to 30 | 30 to 70 | 70 to 100 | >100 |
| Ia | 2 | 1 | 0 | 0 |
| Ib | 3 | 2 | 1 | 1 |
| I | 6 | 4 | 2 | 2 |
| II | 9 | 5 | 4 | 3 |
| III | 12 | 8 | 6 | 4 |
e) Infrarot-Qualitätsangabe: Die Spezifikation entspricht der IEC 60758.
| Qualität | Max. α3585 | Geschätzte Q-Werte (x 10^6) |
| A | 0.015 | 3.8 |
| A | 0.024 | 3 |
| B | 0.05 | 2.4 |
| C | 0.069 | 1.8 |
| D | 0.1 | 1.4 |
f) Ätzkanaldichte: Die Spezifikation entspricht der IEC 60758.
| Qualität | Max. Anzahl pro cm^3 |
| 1 | 10 |
| 2 | 30 |
| 3 | 100 |
| 4 | 300 |
| 5 | 600 |
Spezifikation für vorbearbeiteten Quarzkristall (lumbered)
a) Winkel:
i. Drehwinkel der X-Fläche um die Y-Achse: 00°00’±15’
ii. Drehwinkel der X-Fläche um die Z-Achse: 00°00’±15’
b) Maßtoleranz:
i. Entlang der X- oder Z-Achse: ±0.1 mm
ii. Entlang der Y-Achse: ±10 mm
c) Oberflächenrauheit: nach Kundenwunsch; geläppt und poliert sind beide verfügbar.
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Fragen von Einkäufern
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